Рассматривается проблема повышения надежности прецессионных элементов метрологического оборудования, которые играют определяющую роль в обеспечении точности измерений и устойчивости функционирования приборов в процессе эксплуатации. Прецессионные элементы подвержены воздействию различных дестабилизирующих факторов, включая механические нагрузки, трение, износ, температурные колебания и изменения свойств материалов, что в совокупности приводит к снижению точностных характеристик и эксплуатационной надежности оборудования. В этой связи особый научный и практический интерес представляет применение нанотехнологических методов, направленных на модификацию структуры и свойств материалов на наноуровне. Использование нанотехнологий открывает новые возможности для целенаправленного управления физико-механическими, трибологическими и поверхностными характеристиками прецессионных элементов, что позволяет существенно снизить уровень износа, уменьшить коэффициенты трения и повысить устойчивость к внешним воздействиям. Целью является исследование научно-технических основ обеспечения надежности прецессионных элементов метрологического оборудования с использованием нанотехнологических методов. В работе определены и проанализированы следующие основные задачи: исследование надежности прецессионных элементов и систематизация факторов, влияющих на их работоспособность; изучение влияния нанотехнологических методов на структуру и свойства материалов; анализ поверхностных характеристик и способов их целенаправленной модификации; разработка статических и фрикционных математических моделей, описывающих процессы взаимодействия элементов в условиях эксплуатации. В результате исследования предложены математические модели и получены экспериментальные графики, позволяющие повысить надежность прецессионных узлов метрологического оборудования и увеличить срок их службы. Реализация разработанных подходов может обеспечить существенный практический эффект за счёт повышения точности и надежности измерительных систем, применяемых на машиностроительных предприятиях и в других отраслях промышленности, где предъявляются повышенные требования к качеству метрологического обеспечения.