В статье показаны задачи автоматизации процессов производства изделий микроэлектроники. Приведена архитектура системы управления производством и проанализирована типовая технология производства изделий микроэлектроники. Представлен алгоритм обработки партий полупроводниковых пластин при выполнении производственной деятельности операторами в ручном режиме. Разработана диаграмма потоков сообщений между четырьмя компонентами системы управления производством. Синтезирована функциональная модель IDEF0 управления оборудованием, состоящая из семи блоков, механизмами в модели являются диспетчер оборудования и контроллер связи, выходными сигналами ¬ рецепт, технологические параметры и журнал предупреждений и ошибок. Результаты, полученные в этой статье, в дальнейших исследованиях должны послужить основой создания модели сети Петри для проверки корректности и оценки производительности и загруженности основного оборудования, входящего в цикл серийного производства изделий микроэлектроники.
The article discusses the tasks of automating production processes in microelectronics manufacturing. It presents the architecture for a production control system for microelectronics products; analyses the standard manufacturing technology for such products. The paper describes an algorithm for processing batches of semiconductor wafers during manual production operations performed by operators; develops a message flow diagram between the four components of the production control system; synthesizes a functional IDEF0 model for equipment control consisting of seven blocks. The mechanisms within the model include the equipment dispatcher and the communication controller, while the output signals are the recipe, technological parameters, and the warning and error log. The results obtained in this article should serve as a basis for further research aimed at creating a Petri Net model to verify correctness and assess the performance and workload of the key equipment involved in the serial production cycle of microelectronics products.