Bulletin of Bryansk state technical university Bulletin of Bryansk state technical university Вестник Брянского государственного технического университета 1999-8775 14350 10.12737/23189 Машиностроение и транспорт Mechanical engineering and transport Машиностроение и транспорт Development process of assisted filtered cathodic-vacuum-arc deposition (AFCVAD). РАЗРАБОТКА ПРОЦЕССА АССИСТИРУЕМОГО ФИЛЬТРУЕМОГО ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ОСАЖДЕНИЯ Верещака Алексей Анатольевич Vereshchaka Aleksey Анатольевич ectech@rambler.ru 07 12 2016 07 12 2016 2014 3 10 13 https://zh-szf.ru/en/nauka/article/14350/view

Разработан процесс ассистируемого фильтруемого вакуумно-дугового осаждения наноструктурированных многослойных покрытий. Использован источник ассистирующих высокоэнергетических ионов, оснащаемый различными катодами (Cr, Mo). Исследованы основные параметры покрытий, включающие состав, структуру, толщину, твёрдость, адгезию по отношению к субстрату в зависимости от условий ассистирую-щей импульсной ионной имплантации. Разработана феноменологическая (физическая) модель процесса вакуумно-дугового осаждения покрытий, ассистируемого высокоэнергетическими ионами (AFCVAD), позволяющая прогнозировать свойства формируемых покрытий на основе бинарных соединений.

Developed a process of assisted filtered cathodic-vacuum-arc deposition (AFCVAD). We used a special emitter (implantor) to generate Cr, Mo ions with high energy. Such key parameters of coatings as composition, structure, a thickness, hardness, adhesion in relation to a substrate obtained at various energy of chrome ions have been studied. A phenomenological (physical) model of assisted filtered cathodic-vacuum-arc deposition (AFCVAD), allows to predict the properties of the coatings formed on the basis of binary compounds as a function of the relationship Ra, characterizing parameters of ion implantation.

 ассистируемое фильтруемое вакуумно-дуговое осаждение АФВДО ионная имплантация износостойкие покрытия. assisted filtered cathodic-vacuum-arc deposition ion implantation wear-resistant coatings.

Panckow, A. Surf. Coat. Technol / A. Panckow, D. Sladkov, Panan K. Singh, C. Genzel. - 2004. - P. 214. Panckow, A. Surf. Coat. Technol / A. Panckow, D. Sladkov, Panan K. Singh, C. Genzel. - 2004. - P. 214. Верещака, А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями / А.С. Вере-щака. - М.: Машиностроение, 1993. - 336 с. Vereshchaka, A. S. Working capacity of cutting tools with wear-resistant coatings / A.S. Vereshchaka. - M.: Mechanical engineering, 1993. - 336 p. Vereshchaka, A.S. Development of technology for the synthesis of vacuum arc coating assisting by a high-energy ions / A.S. Vereshchaka, O.I. Obrezkov, L. Dubner // Proceedings of the Int. Scient.Conf. «Protec-02». - 2002. - V.1. - Р. 139. Vereshchaka, A.S. Development of technology for the synthesis of vacuum arc coating assisting by a high-energy ions / A.S. Vereshchaka, O.I. Obrezkov, L. Dubner // Proceedings of the Int. Scient.Conf. «Protec-02». - 2002. - V.1. - Р. 139. Верещака, А.С. Функциональные покрытия для режущего инструмента / А.С. Верещака, А.А. Верещака // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2010. - № 6. - С.28-43. Vereshchaka, A.S. Functional coatings for cutting tool / A.S. Vereshchaka, A. A. Vereshchaka // Strengthening technologies and coatings. - 2010. - No. 6. - pp. 28-43. Vereschaka, A.S. Ecologically friendly dry machining by cutting tool from layered composition ceramic with nano-scale multilayered coating / A.S. Vereschaka, A.A. Vereschaka, A.K. Kirillov // Key Eng. Materials. - 2012. - Vol.496. - Р. 67. Vereschaka, A.S. Ecologically friendly dry machining by cutting tool from layered composition ceramic with nano-scale multilayered coating / A.S. Vereschaka, A.A. Vereschaka, A.K. Kirillov // Key Eng. Materials. - 2012. - Vol.496. - Р. 67. Metel, A. Cutting tools nitriding in plasma produced by a fast neutral molecule beam / A. Metel, S. Grigoriev, Y. Melnik // Japanese Journal of Applied Physics. - 2011. - V. 50. - № 8. Metel, A. Cutting tools nitriding in plasma produced by a fast neutral molecule beam / A. Metel, S. Grigoriev, Y. Melnik // Japanese Journal of Applied Physics. - 2011. - V. 50. - № 8. Grigoriev, S.N. Cutting tools made of layered composite ceramics with nano-scale multilayered coatings / S.N. Grigoriev, A.A. Vereschaka, A.S. Vereschaka, A.A. Kutin // Procedia CIRP. - 2012. - Р. 318 - 323. Grigoriev, S.N. Cutting tools made of layered composite ceramics with nano-scale multilayered coatings / S.N. Grigoriev, A.A. Vereschaka, A.S. Vereschaka, A.A. Kutin // Procedia CIRP. - 2012. - Р. 318 - 323. Genzel, Ch. Adv. X-ray Anal / Ch. Genzel. - 2001. - P. 247. Genzel, Ch. Adv. X-ray Anal / Ch. Genzel. - 2001. - P. 247. Fox-Robinovich, G.S. Surf. Coat. Technol / G.S. Fox-Robinovich, A. Kovalev, M.H. Aguirre. - 2009. - P. 489. Fox-Robinovich, G.S. Surf. Coat. Technol / G.S. Fox-Robinovich, A. Kovalev, M.H. Aguirre. - 2009. - P. 489. Metel, A.S. Glow discharge with electrostatic confinement of electrons in a chamber bombardment by fast elec-trons / A.S. Metel, C.N. Grigoriev, Yu.A. Melnik // Plasma physics reports. - 2011. - Vol.37. - № 7. - Р. 628. Metel, A.S. Glow discharge with electrostatic confinement of electrons in a chamber bombardment by fast elec-trons / A.S. Metel, C.N. Grigoriev, Yu.A. Melnik // Plasma physics reports. - 2011. - Vol.37. - № 7. - Р. 628. Vereshchaka, A.S. Development of the method of obtaining nanostructured functional coatings / A.S. Veresh-chaka, B. Karpuschewski, L. Dubner // Proceedings of the Intern.Scient.Conf. «Production.Technology». - 2008. - V.1. - Р. 62. Vereshchaka, A.S. Development of the method of obtaining nanostructured functional coatings / A.S. Veresh-chaka, B. Karpuschewski, L. Dubner// Proceedings of the Intern.Scient.Conf. «Production. Technology». - 2008. - V.1. - Р. 62.