Modeling of systems and processes Modeling of systems and processes Моделирование систем и процессов 2219-0767 39546 10.12737/2219-0767-2020-13-2-72-76 Технические науки Технические науки Development of materials and radiation-resistant ECB based on KNS / KNI structures Разработка материалов и радиационно-стойкой ЭКБ на основе КНС/КНИ структур Струков Иван Игоревич Strukov I. I. Гречаный Сергей Владимирович Grechanyy Sergey Vladimirovich Ягодкин Александр Сергеевич Yagodkin A. Sergeevich Черников Алексей Николаевич Chernikov Aleksey Nikolaevich Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова Voronezh State University of Forestry and Technologies named after G.F. Morozov 13 2 72 76 https://zh-szf.ru/en/nauka/article/39546/view

В статье рассматриваются проблемы разработки и выбора материалов на основе структур КНС/КНИ (кремний на изоляторе/ кремний на сапфире). Описываются перспективы технологии проектирования и изготовления микросхем на основе ультратонких слоев кремния на сапфировой подложке (УТКНС). Приведен результат сравнительного анализа современных технологий изготовления КНИ-структур.

The article deals with the problems of development and selection of materials based on the structures of KNS/CNI (silicon on insulator/ silicon on sapphire). The article describes the prospects of technology for designing and manufacturing chips based on ultra-thin silicon layers on a sapphire substrate (UTSi). The result of a comparative analysis of modern technologies for manufacturing KNI structures is presented.

 Электронно-компонентная база (ЭКБ) радиационная стойкость КНС/КНИ структуры ультратонкий слой кремния на сапфировой подложке (УТКНС) микроэлектроника БИС Electronic component base (ECB) radiation resistance KNS/KNI structures ultrafine silicon layer on a sapphire substrate (UTSi) microelectronics LIC

Состояние разработок элементной базы для систем связи и управления / В.К. Зольников, А.Ю. Кулай, В.П. Крюков, С.А. Евдокимова // Моделирование систем и процессов. - 2016. - Т. 9, № 4. - С. 11-13. Sostoyanie razrabotok elementnoy bazy dlya sistem svyazi i upravleniya / V.K. Zol'nikov, A.Yu. Kulay, V.P. Kryukov, S.A. Evdokimova // Modelirovanie sistem i processov. - 2016. - T. 9, № 4. - S. 11-13. Сбоеустойчивые микросхемы для космического применения / А.В. Ачкасов, В.К. Зольников, М.В. Конарев, В.П. Крюков, В.А. Смерек, А.И. Яньков // Петербургский журнал электроники. - 2014. - № 4 (81). - С. 18-22. Sboeustoychivye mikroshemy dlya kosmicheskogo primeneniya / A.V. Achkasov, V.K. Zol'nikov, M.V. Konarev, V.P. Kryukov, V.A. Smerek, A.I. Yan'kov // Peterburgskiy zhurnal elektroniki. - 2014. - № 4 (81). - S. 18-22. Машевич, П. Р. Проблемы информационно-коммуникационного взаимодействия при проектировании радиационно-стойких изделий от элементной базы до конечных устройств на примере использования отечественной САПР / П.Р. Машевич, С.А. Кокин, В.Н. Перминов // Наноиндустрия. - 2018. - № S (82). - С. 399-401. Mashevich, P. R. Problemy informacionno-kommunikacionnogo vzaimodeystviya pri proektirovanii radiacionno-stoykih izdeliy ot elementnoy bazy do konechnyh ustroystv na primere ispol'zovaniya otechestvennoy SAPR / P.R. Mashevich, S.A. Kokin, V.N. Perminov // Nanoindustriya. - 2018. - № S (82). - S. 399-401. Зольников, В.К. Методика проектирования радиационно-стойких интегральных схем / В.К. Зольников, В.Н. Ачкасов, В.П. Крюков // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. - 2004. - № 1-2. - С. 57-60. Zol'nikov, V.K. Metodika proektirovaniya radiacionno-stoykih integral'nyh shem / V.K. Zol'nikov, V.N. Achkasov, V.P. Kryukov // Voprosy atomnoy nauki i tehniki. Seriya: Fizika radiacionnogo vozdeystviya na radioelektronnuyu apparaturu. - 2004. - № 1-2. - S. 57-60. Комаров, А.С. Прорывные технологии и новые разработки радиационно стойкой ЭКБ / А.С. Комаров // Петербургский журнал электроники. - 2014. - № 4 (81). - С. 87-93. Komarov, A.S. Proryvnye tehnologii i novye razrabotki radiacionno stoykoy EKB / A.S. Komarov // Peterburgskiy zhurnal elektroniki. - 2014. - № 4 (81). - S. 87-93. Богданов, Д.С. Радиационная стойкость радиоэлектронного устройства в условиях космического пространства / Д.С. Богданов, И.А. Богданова, А.Н. Волныкин // Вестник Рязанского государственного радиотехнического университета. - 2019. - № 70. - С. 107-117. Bogdanov, D.S. Radiacionnaya stoykost' radioelektronnogo ustroystva v usloviyah kosmicheskogo prostranstva / D.S. Bogdanov, I.A. Bogdanova, A.N. Volnykin // Vestnik Ryazanskogo gosudarstvennogo radiotehnicheskogo universiteta. - 2019. - № 70. - S. 107-117. Разработка технических средств контроля работоспособности ЭКБ специального назначения при экспериментальной оценки радиационной стойкости / В.К. Зольников, А.Ю. Кулай, И.И. Струков, К.А. Чубур, Ю.А. Чевычелов, С.С. Веневитина, А.И. Яньков // Информационные технологии в управлении и моделировании мехатронных систем : сборник материалов 1-й научно-практической международной конференции. - Тамбов : Изд-во ФГБОУ ВО «ТГТУ», 2017. - С. 127-131. Razrabotka tehnicheskih sredstv kontrolya rabotosposobnosti EKB special'nogo naznacheniya pri eksperimental'noy ocenki radiacionnoy stoykosti / V.K. Zol'nikov, A.Yu. Kulay, I.I. Strukov, K.A. Chubur, Yu.A. Chevychelov, S.S. Venevitina, A.I. Yan'kov // Informacionnye tehnologii v upravlenii i modelirovanii mehatronnyh sistem : sbornik materialov 1-y nauchno-prakticheskoy mezhdunarodnoy konferencii. - Tambov : Izd-vo FGBOU VO «TGTU», 2017. - S. 127-131. Аналитический метод оценки эффективности одного способа повышения сбоеустойчивости микропроцессорных систем / Ю.С. Акинина, Ю.Ю. Громов, В.К. Зольников, А.Ю. Кулай, С.В. Тюрин, М.А. Худяков // Промышленные АСУ и контроллеры. - 2018. - № 7. - С. 41-48. Analiticheskiy metod ocenki effektivnosti odnogo sposoba povysheniya sboeustoychivosti mikroprocessornyh sistem / Yu.S. Akinina, Yu.Yu. Gromov, V.K. Zol'nikov, A.Yu. Kulay, S.V. Tyurin, M.A. Hudyakov // Promyshlennye ASU i kontrollery. - 2018. - № 7. - S. 41-48.