Science intensive technologies in mechanical engineering Science intensive technologies in mechanical engineering Наукоёмкие технологии в машиностроении 2223-4608 40551 10.30987/2223-4608-2020-12-3-6 НАУКОЁМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ЗАГОТОВОК (архивировано) SCIENCE INTENSIVE TECHNOLOGIES OF MACHINING (archived) НАУКОЁМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ЗАГОТОВОК (архивировано) Technological mode choice for silicon carbide plate diamond abrasion Выбор технологических режимов алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния https://orcid.org/0000-0002-9430-2936 Бишутин Сергей Геннадьевич Bishutin Sergey Genadievich nad-bisch@yandex.ru

доктор технических наук;

doctor of technical sciences;

 Алехин Сергей Сергеевич Alehin Sergey Sergeevich salekhin@outlook.com Брянский государственный технический университет Bryansk State Technical University 2020 12 3 6 https://zh-szf.ru/en/nauka/article/40551/view

Изложен выбор технологических режимов алмазно-абразивной обработки, обеспечивающих требуемую производительность процесса и качество карбидокремниевых пластин. Установлены взамосвязи скорости съема карбида кремния с длиной поверхностных микротрещин и высотой шероховатости поверхности. Предложена методика назначения технологических режимов, не приводящих к разрушению заготовок пластин при изготовлении приборов специального назначения.

There is stated a choice of a technological mode for diamond abrasion ensuring a required process capacity and silicon carbide plate quality. The correlations of a silicon carbide removal rate with the length of surface micro-cracks with the roughness height of a surface are stated. A procedure is offered for setting technological modes which do not result in plate billet destruction during manufacturing special devices.

 производительность алмазно-абразивной обработки микротрещины шероховатость поверхности карбидокремниевые пластины diamond abrasion capacity micro-cracks surface roughness silicon carbide plates

Душко, О.В. Алмазное шлифование карбидокремниевой керамики для машиностроения / О.В. Душко, В.М. Шумячер. - Волгоград: ВолгГАСУ, 2009. - 80 с. Dushko, O.V. Diamond Abrasion of Silicon Carbide Ceramics for Mechanical Engineering / O.V. Dushko, V.M. Shu-myacher. - Volgograd: VolgGASU, 2009. - pp. 80. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Совершенствование технологии финишной абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Брянского государственного технического университета. - 2018. - №5(66). - С. 9-13. Bishutin, S.G., Alyokhin, S.S. Technology improvement of silicon carbide plate finish abrasion // Bulletin of Bryansk State Technical University. - 2018. - No.5(66). - pp. 9-13. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Производительность и качество алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Воронежского государственного технического университета. - 2019. - Т.15. - №2. - С. 159-164. Bishutin, S.G., Alyokhin, S.S. Capacity and quality of silicon carbide plate diamond abrasion // Bulletin of Voronezh State Technical University. - 2019. - Vol. 15. - No.2. - pp. 159-164. Пилипенко, В.А. Быстрые термообработки в технологии СБИС / В.А. Пилипенко. - Минск: БГУ, 2004. - 531с. Pilipenko, V.A. Speed Thermal Treatment in SBIS Technology / V.A. Pilipenko. - Minsk: BSU, 2004. - pp. 531. Мужиченко, О.Г., Плис, Н. Термомеханические напряжения в сборочных микроузлах при монтаже БИС. Расчет и эксперимент // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2000. - №6(30). - С. 63-65. Muzhichenko, O.G., Plis, N. Thermal stresses in assembly units at BIS mounting. Calculation and experiment // Electronics: Science, Technology. Business. - 2000. - No.6(30). - pp. 63-65. Меженный, М.В., Мильвидский, М.Г., Простомолотов, А.И. Моделирование напряженного состояния пластин кремния большого диаметра в процессе термического отжига //Физика твердого тела. - 2003. - Т.45. -№10. - С. 1794-1799. Mezhenny, M.V., Milvidsky, M.G., Prostomolotov, A.I. Stress state modeling of large diameter silicon plates during thermal annealing // Physics of Solid. - 2003. - Vol.45. - No.10. - pp. 1794-1799. Крайнев, А.Ф. Конструирование машин: справ.-метод. пособие: в 2 т./ А.Ф. Крайнев, А.П. Гусенков, В.В. Болотин [и др.]; под ред. К.В. Фролова. - М.: Машино-строение, 1994. - Т.2. - 624 с. Krainev, A.F. Machine Design: reference methodical manual: in 2 Vol. / A.F. Krainev, A.P. Gusenkov, V.V. Bolotin [et al.]; under the editorship of K.V. Frolov. - M.: Mechanical Engineering, 1994. - Vol.2. - pp. 624.