LDR 00836naa#a2200217#i#450#
001     EN\\bibl\29946
005     20240708140614.1
011 ## _a2071-7318
100 ## _a20160125b2016####ek#y0engy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aEFFECT OF NITROGEN CONCENTRATION IN MAGNETRON SPUTTERING ON STRUCTURE ALN-FILMS DEPOSITED ON SAPPHIRE SUBSTRATE
       _eJournal article
210 1# _aBelgorod
       _cBelgorod State Technological University named after V.G. Shukhov
       _d2016
215 ## _a5 с.
608 ## _aJournal article
       _2local
675 ## _aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66
       _z
700 #1 _aNarcev
       _gV.M. 
700 #1 _aZaycev
       _gSergey Viktorovich
700 #1 _aProhorenkov
       _gD. S.
700 #1 _aEvtushenko
       _gE. I.
700 #1 _aVaschilin
       _gV.S. 
856 4# _azh-szf.ru
       _u