Брянск, Брянская область, Россия
В статье показаны задачи автоматизации процессов производства изделий микроэлектроники. Приведена архитектура системы управления производством и проанализирована типовая технология производства изделий микроэлектроники. Представлен алгоритм обработки партий полупроводниковых пластин при выполнении производственной деятельности операторами в ручном режиме. Разработана диаграмма потоков сообщений между четырьмя компонентами системы управления производством. Синтезирована функциональная модель IDEF0 управления оборудованием, состоящая из семи блоков, механизмами в модели являются диспетчер оборудования и контроллер связи, выходными сигналами ¬ рецепт, технологические параметры и журнал предупреждений и ошибок. Результаты, полученные в этой статье, в дальнейших исследованиях должны послужить основой создания модели сети Петри для проверки корректности и оценки производительности и загруженности основного оборудования, входящего в цикл серийного производства изделий микроэлектроники.
система управления производством, IDEF0, диаграмма потоков сообщений, сеть Петри, диспетчер оборудования
1. D. Scott, “Comparative advantage through manufacturing execution system,” in The SEMICON Taiwan 96 IC Seminar, 1996, pp. 227–236.
2. M. Zhu, X. Peng, Y. Sun, S. Fuyang and D. Jiao, "Simulation study of semiconductor communication protocol SECS/GEM," 2021 International Conference on Wireless Communications and Smart Grid, Hangzhou, China, 2021, pp. 148-152, doi:https://doi.org/10.1109/ICWCSG53609.2021.00037.
3. Куликов И.Н., Шубников А.В. Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве // Наноинженерия. 2015. № 9. С.43-47.
4. Sheng-Luen Chung and MuDer Jeng, "An overview of semiconductor fab automation systems," 2003 IEEE International Conference on Robotics and Automation, Taipei, Taiwan, 2003, pp. 1050-1055 vol.1, doi:https://doi.org/10.1109/ROBOT.2003.1241731.
5. Da-Yin Liao, MuDer Jeng and M. Zhou, "Petri net modeling and lagrangian relaxation approach to vehicle scheduling in 300mm semiconductor manufacturing," IEEE International Conference on Robotics and Automation, 2004. Proceedings. ICRA '04. 2004, New Orleans, LA, USA, 2004, pp. 5301-5306, doi:https://doi.org/10.1109/ROBOT.2004.1302559.
6. K. H. Tantawi, I. Fidan, Y. Musa and A. Tantawy, "Smart Manufacturing: Post-Pandemic and Future Trends," in Applied AI and Multimedia Technologies for Smart Manufacturing and CPS Applications, IGI Global, 2023, pp. 278-300.
7. Четвергов В.А., Волков М.В., Зинец Н.С. Анализ современных концепций планирования для машиностроительных предприятий и их применимость для этапа освоения новых продуктов // Русский инженер. – 2020. – №03(68). – с. 39-41.
8. Шутиков, М. А. Влияние показателя общей эффективности оборудования на контроль деталей после особо ответственной технологической операции с дальнейшим планированием производственного расписания на предприятиях мелкосерийного типа производства / М. А. Шутиков, А. Н. Феофанов // Вестник МГТУ «Станкин». – 2023. – № 1(64). – С. 22-25.
9. G. Manenti, M. Ebrahimiarjestan, L. Yang and M. Yu, "Functional Modelling and IDEF0 to Enhance and Support Process Tailoring in Systems Engineering," 2019 International Symposium on Systems Engineering (ISSE), Edinburgh, UK, 2019, pp. 1-8, doi:https://doi.org/10.1109/ISSE46696.2019.8984539.
