Брянск, Брянская область, Россия
Брянск, Брянская область, Россия
Изложен выбор технологических режимов алмазно-абразивной обработки, обеспечивающих требуемую производительность процесса и качество карбидокремниевых пластин. Установлены взамосвязи скорости съема карбида кремния с длиной поверхностных микротрещин и высотой шероховатости поверхности. Предложена методика назначения технологических режимов, не приводящих к разрушению заготовок пластин при изготовлении приборов специального назначения.
производительность алмазно-абразивной обработки, микротрещины, шероховатость поверхности, карбидокремниевые пластины
1. Душко, О.В. Алмазное шлифование карбидокремниевой керамики для машиностроения / О.В. Душко, В.М. Шумячер. - Волгоград: ВолгГАСУ, 2009. - 80 с.
2. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Совершенствование технологии финишной абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Брянского государственного технического университета. - 2018. - №5(66). - С. 9-13.
3. Бишутин, С.Г., Алехин, С.С. Производительность и качество алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния // Вестник Воронежского государственного технического университета. - 2019. - Т.15. - №2. - С. 159-164.
4. Пилипенко, В.А. Быстрые термообработки в технологии СБИС / В.А. Пилипенко. - Минск: БГУ, 2004. - 531с.
5. Мужиченко, О.Г., Плис, Н. Термомеханические напряжения в сборочных микроузлах при монтаже БИС. Расчет и эксперимент // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2000. - №6(30). - С. 63-65.
6. Меженный, М.В., Мильвидский, М.Г., Простомолотов, А.И. Моделирование напряженного состояния пластин кремния большого диаметра в процессе термического отжига //Физика твердого тела. - 2003. - Т.45. -№10. - С. 1794-1799.
7. Крайнев, А.Ф. Конструирование машин: справ.-метод. пособие: в 2 т./ А.Ф. Крайнев, А.П. Гусенков, В.В. Болотин [и др.]; под ред. К.В. Фролова. - М.: Машино-строение, 1994. - Т.2. - 624 с.
