Actual directions of scientific researches of the XXI century: theory and practiceActual directions of scientific researches of the XXI century: theory and practiceАктуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика2308-8877419710.12737/6749Секция: «Эффективные методы и инструменты исследования моделей систем и механизмов»Секция: «Эффективные методы и инструменты исследования моделей систем и механизмов»The effect of angular velocity on the formation of defects during the formation of films by centrifugationВлияние угловой скорости на образование дефектов при формировании пленок центрифугированием БородинаЕ. А.BorodinaE. А.0212201402122014255557https://zh-szf.ru/en/nauka/article/4197/view
Исследуется процесс формирования тонких пленок центрифугированием. Разработана математическая модель слоистого течения жидкости и проведено моделирование образования брызг при формировании покрытия.
Process of formation of thin films by centrifugation is investigated. The mathematical model of a layered current of liquid is developed and modeling of formation of splashes when forming covering is carried out.
СЕКЦИЯ: «ЭФФЕКТИВНЫЕ МЕТОДЫ И ИНСТРУМЕНТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МОДЕЛЕЙ СИСТЕМ И МЕХАНИЗМОВ» УДК 658.0.12.011.56.004.14:0/9ВЛИЯНИЕ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ НА ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ПЛЕНОК ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕМTHE EFFECT OF ANGULAR VELOCITY ON THE FORMATION OF DEFECTS DURING THE FORMATION OF FILMS BY CENTRIFUGATIONБородина Е.А., ассистентФГБОУ ВПО «Воронежский государственный университет инженерных технологий»г. Воронеж, Россияbestroof@inbox.ruDOI: 10.12737/6749 Аннотация: Исследуется процесс формирования тонких пленок центрифугированием. Разработана математическая модель слоистого течения жидкости и проведено моделирование образования брызг при формировании покрытия.Summary: Process of formation of thin films by centrifugation is investigated. The mathematical model of a layered current of liquid is developed and modeling of formation of splashes when forming covering is carried out.Ключевые слова: математическое моделирование, центрифугирование, тонкие пленки, фотолитография, брызги, слоистое течение. Keywords: mathematical modeling, centrifugation, thin films, photolithography, splashes, layered flow.
Abramov G.V. Mathematical modelling of processes for forming thin coatings by using centrifuges to determine the judicious regime / Abramov G.V., Bityukov V.K., Popov G.V. // Инженерно-физический журнал. 1994. Т. 66. № 5. С. 561-567.Abramov G.V. Mathematical modelling of processes for forming thin coatings by using centrifuges to determine the judicious regime / Abramov G.V., Bityukov V.K., Popov G.V.. Inzhenerno-fizicheskiy zhurnal. 1994. T. 66. № 5. S. 561-567.Зайцев А.И., Бытев Д.О. / Ударные процессы в дисперсно-пленочных системах. - М.: Химия. - 1994.Zaytsev A.I., Bytev D.O. / Udarnye protsessy v dispersno-plenochnykh sistemakh. - M.: Khimiya. - 1994.