<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article
PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.4 20190208//EN"
       "JATS-journalpublishing1.dtd">
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" article-type="research-article" dtd-version="1.4" xml:lang="en">
 <front>
  <journal-meta>
   <journal-id journal-id-type="publisher-id">Modeling of systems and processes</journal-id>
   <journal-title-group>
    <journal-title xml:lang="en">Modeling of systems and processes</journal-title>
    <trans-title-group xml:lang="ru">
     <trans-title>Моделирование систем и процессов</trans-title>
    </trans-title-group>
   </journal-title-group>
   <issn publication-format="print">2219-0767</issn>
  </journal-meta>
  <article-meta>
   <article-id pub-id-type="publisher-id">48049</article-id>
   <article-id pub-id-type="doi">10.12737/2219-0767-2021-14-4-51-58</article-id>
   <article-categories>
    <subj-group subj-group-type="toc-heading" xml:lang="ru">
     <subject>Технические науки</subject>
    </subj-group>
    <subj-group subj-group-type="toc-heading" xml:lang="en">
     <subject></subject>
    </subj-group>
    <subj-group>
     <subject>Технические науки</subject>
    </subj-group>
   </article-categories>
   <title-group>
    <article-title xml:lang="en">Methods for detecting and correcting errors in irregular structures under the influence of heavy charged particles</article-title>
    <trans-title-group xml:lang="ru">
     <trans-title>Методы обнаружения и исправления ошибок в нерегулярных структурах при воздействии тяжелых заряженных частиц</trans-title>
    </trans-title-group>
   </title-group>
   <contrib-group content-type="authors">
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Зольникова</surname>
       <given-names>Анна Николаевна</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Zolnikova</surname>
       <given-names>A. Nikolaevna</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <xref ref-type="aff" rid="aff-1"/>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Евдокимова</surname>
       <given-names>Светлана Анатольевна</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Evdokimova</surname>
       <given-names>Svetlana Anatol'evna</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <bio xml:lang="ru">
      <p>кандидат технических наук;</p>
     </bio>
     <bio xml:lang="en">
      <p>candidate of technical sciences;</p>
     </bio>
     <xref ref-type="aff" rid="aff-2"/>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Оксюта</surname>
       <given-names>Олеся Владимировна</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Oksyuta</surname>
       <given-names>O. V.</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <xref ref-type="aff" rid="aff-2"/>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Панина</surname>
       <given-names>Наталья Владимировна</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Panina</surname>
       <given-names>Natal'ya Vladimirovna</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <email>gga_nvg@mail.ru</email>
     <xref ref-type="aff" rid="aff-2"/>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Солодилов</surname>
       <given-names>Максим Витальевич</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Solodilov</surname>
       <given-names>Maksim Vital'evich</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <xref ref-type="aff" rid="aff-2"/>
    </contrib>
   </contrib-group>
   <aff-alternatives id="aff-1">
    <aff>
     <institution xml:lang="ru">АО &quot;Научно-исследовательский институт электронной техники&quot;</institution>
     <country>Россия</country>
    </aff>
    <aff>
     <institution xml:lang="en">АО &quot;Научно-исследовательский институт электронной техники&quot;</institution>
     <country>Russian Federation</country>
    </aff>
   </aff-alternatives>
   <aff-alternatives id="aff-2">
    <aff>
     <institution xml:lang="ru">Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова</institution>
    </aff>
    <aff>
     <institution xml:lang="en">Voronezh State University of Forestry and Technologies named after G.F. Morozov</institution>
    </aff>
   </aff-alternatives>
   <pub-date publication-format="print" date-type="pub" iso-8601-date="2022-01-08T10:59:14+03:00">
    <day>08</day>
    <month>01</month>
    <year>2022</year>
   </pub-date>
   <pub-date publication-format="electronic" date-type="pub" iso-8601-date="2022-01-08T10:59:14+03:00">
    <day>08</day>
    <month>01</month>
    <year>2022</year>
   </pub-date>
   <volume>14</volume>
   <issue>4</issue>
   <fpage>51</fpage>
   <lpage>58</lpage>
   <history>
    <date date-type="received" iso-8601-date="2021-12-27T00:00:00+03:00">
     <day>27</day>
     <month>12</month>
     <year>2021</year>
    </date>
   </history>
   <self-uri xlink:href="https://zh-szf.ru/en/nauka/article/48049/view">https://zh-szf.ru/en/nauka/article/48049/view</self-uri>
   <abstract xml:lang="ru">
    <p>В работе рассмотрены методы повышения стойкости радиоэлектронной аппаратуры в космосе, а именно методы обнаружения и исправления ошибок при воздействии ТЗЧ. В настоящее время для обеспечения стойкости используются методы резервирования, когда в системе параллельно работают два или три процессора, а специальный узел сравнивает результаты их работы. Если результаты не совпадут, то будет сформирован сигнал ошибки, и система начнет выполнять действия по ее исправлению. В статье приведено описание и классификация основных схемотехнических, структурно-функциональных, алгоритмических методов для обнаружения и исправления ошибок. Показано, что схемотехнические решения приводят к увеличению площади кристалла. Поэтому возникает задача обеспечения радиационной стойкости при минимальном увеличении площади кристалла.</p>
   </abstract>
   <trans-abstract xml:lang="en">
    <p>The paper considers methods of increasing the durability of radio-electronic equipment in space, namely, methods of detecting and correcting errors during the action of the HCP. Currently, redundancy methods are used to ensure durability, when two or three processors work in parallel in the system, and a special node compares the results of their work. If the results do not match, an error signal will be generated, and the system will begin to perform actions to correct it. The article describes and classifies the main circuit, structural-functional, algorithmic methods for detecting and correcting errors. It is shown that circuit solutions lead to an increase in the crystal area. Therefore, the problem arises of ensuring radiation resistance with a minimum increase in the crystal area.</p>
   </trans-abstract>
   <kwd-group xml:lang="ru">
    <kwd>Электронная компонентная база (ЭКБ)</kwd>
    <kwd>нерегулярные структуры</kwd>
    <kwd>тяжелые заряженные частицы (ТЗЧ)</kwd>
    <kwd>схемотехнические методы</kwd>
    <kwd>методы резервирования</kwd>
    <kwd>стойкость.</kwd>
   </kwd-group>
   <kwd-group xml:lang="en">
    <kwd>Electronic component base (ECB)</kwd>
    <kwd>irregular structures</kwd>
    <kwd>heavy charged particles (HCP)</kwd>
    <kwd>circuit engineering methods</kwd>
    <kwd>redundancy methods</kwd>
    <kwd>durability.</kwd>
   </kwd-group>
  </article-meta>
 </front>
 <body>
  <p></p>
 </body>
 <back>
  <ref-list>
   <ref id="B1">
    <label>1.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Методы обеспечения стойкости электронной компонентной базы к одиночным событиям путем резервирования / А.Е. Козюков, В.К. Зольников, С.А. Евдокимова [и др.] // Моделирование систем и процессов. - 2021. - Т. 14, № 1. - С. 10-16. - DOI: 10.12737/2219-0767-2021-14-1-10-16.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Metody obespecheniya stoykosti elektronnoy komponentnoy bazy k odinochnym sobytiyam putem rezervirovaniya / A.E. Kozyukov, V.K. Zol'nikov, S.A. Evdokimova [i dr.] // Modelirovanie sistem i processov. - 2021. - T. 14, № 1. - S. 10-16. - DOI: 10.12737/2219-0767-2021-14-1-10-16.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B2">
    <label>2.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Bu, L. Design of reliable storage and computer systems with lightweight group testing based non-binary error correction codes / L. Bu, M.G. Karpovsky, M.A. Kinsy // IET Computers and Digital Techniques. - 2019. - T. 13(3). - Pp. 218-223. - DOI: 10.1049/iet-cdt.2018.5008.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Bu, L. Design of reliable storage and computer systems with lightweight group testing based non-binary error correction codes / L. Bu, M.G. Karpovsky, M.A. Kinsy // IET Computers and Digital Techniques. - 2019. - T. 13(3). - Pp. 218-223. - DOI: 10.1049/iet-cdt.2018.5008.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B3">
    <label>3.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Методология оценки надежности космических аппаратов при проектной и конструкторской проработке / В.Я. Геча, Р.Н. Барбул, Н.И. Сидняев, Ю.И. Бутенко // Надежность. - 2019. - Т. 19, № 2 (69). - С. 3-8.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Metodologiya ocenki nadezhnosti kosmicheskih apparatov pri proektnoy i konstruktorskoy prorabotke / V.Ya. Gecha, R.N. Barbul, N.I. Sidnyaev, Yu.I. Butenko // Nadezhnost'. - 2019. - T. 19, № 2 (69). - S. 3-8.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B4">
    <label>4.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Беляева, Т.П. Модель оптимального планирования проектов создания изделий микроэлектроники проектов / Т.П. Беляева, А.П. Затворницкий // Программные продукты и системы. - 2011. - № 2. - С. 61-64.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Belyaeva, T.P. Model' optimal'nogo planirovaniya proektov sozdaniya izdeliy mikroelektroniki proektov / T.P. Belyaeva, A.P. Zatvornickiy // Programmnye produkty i sistemy. - 2011. - № 2. - S. 61-64.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B5">
    <label>5.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Разработка средств автоматизации проектирования специализированных микросхем для управляющих вычислительных комплексов двойного назначения : монография / В.Н. Ачкасов, В.М. Антимиров, В.Е. Межов, В.К. Зольников. - Воронеж, 2005. - 240 с.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Razrabotka sredstv avtomatizacii proektirovaniya specializirovannyh mikroshem dlya upravlyayuschih vychislitel'nyh kompleksov dvoynogo naznacheniya : monografiya / V.N. Achkasov, V.M. Antimirov, V.E. Mezhov, V.K. Zol'nikov. - Voronezh, 2005. - 240 s.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B6">
    <label>6.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Valinataj, M. Enhanced multiple-error resilient carry look-ahead adders through new customized fault-tolerant voters / M. Valinataj // Microelectronics Reliability. - 2019. - T. 96. - Pp. 7-20. - DOI: 10.1016/j.microrel.2019.03.003.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Valinataj, M. Enhanced multiple-error resilient carry look-ahead adders through new customized fault-tolerant voters / M. Valinataj // Microelectronics Reliability. - 2019. - T. 96. - Pp. 7-20. - DOI: 10.1016/j.microrel.2019.03.003.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B7">
    <label>7.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Зольников, В.К. Математическое обеспечение учета импульсного излучения в САПР сквозного проектирования СБИС / В.К. Зольников // Системы управления и информационные технологии. - 2009. - № 1-2 (35). - С. 242-244.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Zol'nikov, V.K. Matematicheskoe obespechenie ucheta impul'snogo izlucheniya v SAPR skvoznogo proektirovaniya SBIS / V.K. Zol'nikov // Sistemy upravleniya i informacionnye tehnologii. - 2009. - № 1-2 (35). - S. 242-244.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B8">
    <label>8.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Анализ проблем моделирования элементов КМОП БИС / В.К. Зольников, С.А. Евдокимова, А.В. Фомичев [и др.] // Моделирование систем и процессов. - 2018. - Т. 11, № 4. - С. 20-25. - DOI: 10.12737/article_5c79642bd56f27.90584496.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Analiz problem modelirovaniya elementov KMOP BIS / V.K. Zol'nikov, S.A. Evdokimova, A.V. Fomichev [i dr.] // Modelirovanie sistem i processov. - 2018. - T. 11, № 4. - S. 20-25. - DOI: 10.12737/article_5c79642bd56f27.90584496.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B9">
    <label>9.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Зольников, В.К. Разработка схемотехнического и конструктивно-технологического базиса ЭКБ / В.К. Зольников, А.А. Стоянов // Моделирование систем и процессов. - 2011. - № 1-2. -С. 28-30.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Zol'nikov, V.K. Razrabotka shemotehnicheskogo i konstruktivno-tehnologicheskogo bazisa EKB / V.K. Zol'nikov, A.A. Stoyanov // Modelirovanie sistem i processov. - 2011. - № 1-2. -S. 28-30.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B10">
    <label>10.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">BinTalib, G.H. Hybrid and double modular redundancy (DMR)-based fault-tolerant carry look-ahead adder design / G.H. BinTalib, A.H. El-Maleh // Arabian Journal for Science and Engineering. - 2021. - T. 46(9). - Pp. 8969-8981. - DOI: 10.1007/s13369-021-05708-2.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">BinTalib, G.H. Hybrid and double modular redundancy (DMR)-based fault-tolerant carry look-ahead adder design / G.H. BinTalib, A.H. El-Maleh // Arabian Journal for Science and Engineering. - 2021. - T. 46(9). - Pp. 8969-8981. - DOI: 10.1007/s13369-021-05708-2.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B11">
    <label>11.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Design and test of a separation system for Chang'e-5 orbiter / Z. Yu, J. Wang, M. Yang [et al.] // Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica. - 2021. - T. 51(8). - Pp. 898-911. - DOI: 10.1360/SST-2021-0098.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Design and test of a separation system for Chang'e-5 orbiter / Z. Yu, J. Wang, M. Yang [et al.] // Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica. - 2021. - T. 51(8). - Pp. 898-911. - DOI: 10.1360/SST-2021-0098.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B12">
    <label>12.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Методы обеспечения стойкости электронной компонентной базы в части обратимых одиночных событий / А.Е. Козюков, Г.А. Распопов, А.И. Яньков [и др.] // Моделирование систем и процессов. - 2021.- Т. 14, № 1. - С. 27-32. - DOI: 10.12737/2219-0767-2021-14-1-27-32.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Metody obespecheniya stoykosti elektronnoy komponentnoy bazy v chasti obratimyh odinochnyh sobytiy / A.E. Kozyukov, G.A. Raspopov, A.I. Yan'kov [i dr.] // Modelirovanie sistem i processov. - 2021.- T. 14, № 1. - S. 27-32. - DOI: 10.12737/2219-0767-2021-14-1-27-32.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B13">
    <label>13.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Скобелев, А.Н. Расчет плотности потока тепловых нейтронов в радиационной защите по программе Frigate с применением метода субмоделирования / А.Н. Скобелев, А.А. Николаев // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Ядерно-реакторные константы. - 2020. - № 1. - С. 50-58.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Skobelev, A.N. Raschet plotnosti potoka teplovyh neytronov v radiacionnoy zaschite po programme Frigate s primeneniem metoda submodelirovaniya / A.N. Skobelev, A.A. Nikolaev // Voprosy atomnoy nauki i tehniki. Seriya: Yaderno-reaktornye konstanty. - 2020. - № 1. - S. 50-58.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B14">
    <label>14.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Chen, Q. Design and Analysis of Joint Source Channel Coding Schemes over Non-Standard Coding Channels / Q. Chen, L. Wang // IEEE Transactions on Vehicular Technology. - 2020. - T. 69(5). - S. 9055164. - Pp. 5369-5380. - DOI: 10.1109/TVT.2020.2984235.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Chen, Q. Design and Analysis of Joint Source Channel Coding Schemes over Non-Standard Coding Channels / Q. Chen, L. Wang // IEEE Transactions on Vehicular Technology. - 2020. - T. 69(5). - S. 9055164. - Pp. 5369-5380. - DOI: 10.1109/TVT.2020.2984235.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B15">
    <label>15.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Комбаев, Т.Ш. Проектирование радиационной защиты комплекса научной аппаратуры космического аппарата дистанционного зондирования Земли / Т.Ш. Комбаев, М.Е. Артемов, И.В. Зефиров // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2019. - № 5 (89). - С. 6. - DOI: 10.18698/2308-6033-2019-5-1878.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Kombaev, T.Sh. Proektirovanie radiacionnoy zaschity kompleksa nauchnoy apparatury kosmicheskogo apparata distancionnogo zondirovaniya Zemli / T.Sh. Kombaev, M.E. Artemov, I.V. Zefirov // Inzhenernyy zhurnal: nauka i innovacii. - 2019. - № 5 (89). - S. 6. - DOI: 10.18698/2308-6033-2019-5-1878.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B16">
    <label>16.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Состояние разработок элементной базы для систем связи и управления / В.К. Зольников, А.Ю. Кулай, В.П. Крюков, С.А. Евдокимова // Моделирование систем и процессов. - 2016. - Т. 9, № 4. - С. 11-13. - DOI: 10.12737/24575.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Sostoyanie razrabotok elementnoy bazy dlya sistem svyazi i upravleniya / V.K. Zol'nikov, A.Yu. Kulay, V.P. Kryukov, S.A. Evdokimova // Modelirovanie sistem i processov. - 2016. - T. 9, № 4. - S. 11-13. - DOI: 10.12737/24575.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B17">
    <label>17.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Скляр, В.А. Моделирование низкоинтенсивного воздействия космического пространства / В.А. Скляр, В.К. Зольников, С.А. Евдокимова // Моделирование систем и процессов. - 2016. - Т. 9, № 2. - С. 71-74. - DOI: 10.12737/23663.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Sklyar, V.A. Modelirovanie nizkointensivnogo vozdeystviya kosmicheskogo prostranstva / V.A. Sklyar, V.K. Zol'nikov, S.A. Evdokimova // Modelirovanie sistem i processov. - 2016. - T. 9, № 2. - S. 71-74. - DOI: 10.12737/23663.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B18">
    <label>18.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Bondarenko, Ju.V. Functional control of the technical condition method for aircraft control system sensors under complete parametric uncertainty / Ju.V. Bondarenko, E.Yu. Zybin // Civil Aviation High Technologies. - 2020. - Т. 23, № 3. - С. 39-51. - DOI: 10.26467/2079-0619-2020-23-3-39-51.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Bondarenko, Ju.V. Functional control of the technical condition method for aircraft control system sensors under complete parametric uncertainty / Ju.V. Bondarenko, E.Yu. Zybin // Civil Aviation High Technologies. - 2020. - T. 23, № 3. - S. 39-51. - DOI: 10.26467/2079-0619-2020-23-3-39-51.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B19">
    <label>19.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Алгоритмы конструкторского проектирования базовых элементов радиационно-стойких БИС / В.Е. Межов, П.Р. Машевич, Ю.К. Фортинский, В.К. Зольников // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. - 2005. - № 1-2. - С. 125-126.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Algoritmy konstruktorskogo proektirovaniya bazovyh elementov radiacionno-stoykih BIS / V.E. Mezhov, P.R. Mashevich, Yu.K. Fortinskiy, V.K. Zol'nikov // Voprosy atomnoy nauki i tehniki. Seriya: Fizika radiacionnogo vozdeystviya na radioelektronnuyu apparaturu. - 2005. - № 1-2. - S. 125-126.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B20">
    <label>20.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Информационная уязвимость ЭКБ / А.О. Гасников, М.И. Ершов, В.В. Лучинин, В.В. Трушлякова // Нано- и микросистемная техника. - 2019. - Т. 21, № 2. - С. 120-128. -DOI: 10.17587/nmst.21.120-128.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Informacionnaya uyazvimost' EKB / A.O. Gasnikov, M.I. Ershov, V.V. Luchinin, V.V. Trushlyakova // Nano- i mikrosistemnaya tehnika. - 2019. - T. 21, № 2. - S. 120-128. -DOI: 10.17587/nmst.21.120-128.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
  </ref-list>
 </back>
</article>
