В данной обзорной статье рассматриваются методы измерения основных механических свойств тонких пленок: испытание на растяжение, индентирование, оценка запаса механической прочности по кривизне системы пластина - тонкая плёнка, контроль выдуванием за счёт подачи избыточного давления, исследование с использованием деформированного и резонансного кантилевера. В процессе критического анализа отечественных и зарубежных литературных источников выявлены преимущества и недостатки методов, объяснена мотивация авторов для проведения подобных исследований. В дополнении к существующим широко используемым методам приведена оригинальная и относительно новая методика — использование электрического тока в качестве контролируемого средства приложения термомеханических напряжений к электрическим проводникам для характеристики их усталостного поведения. Также указаны подходы для повышения механической прочности тонких плёнок.
This review article discusses methods for measuring the main mechanical properties of thin films: tensile testing, indentation, evaluation of the mechanical strength margin for the curvature of the plate-thin film system, bulge method and research using a deformed and resonant cantilever. In the process of critical analysis of domestic and foreign literary sources, the advantages and disadvantages of the methods were revealed; the authors' motivation for conducting such studies was explained. In addition to the existing widely used methods, an original and relatively new technique is given - the use of electric current as a controlled means of applying thermo mechanical stresses to electrical conductors to characterize their fatigue behavior. Approaches for increasing the mechanical strength of thin films are also indicated.