TY  JOUR
TI  Проектирование радиационно-стойких многослойных крышек МЭМС с учётом термомеханических ограничений
KW  микроэлектромеханические системы
KW  механическая надёжность
KW  многослойная крышка
KW  проектирование радиационно-стойких защитных крышек МЭМС-устройств
KW  термоупругие напряжения
KW  ионизирующее излучение космического пространства
JO  Моделирование систем и процессов
AU  Иванин, П.С.
AU  Гусев, Е.Э.
AU  Дюжев, Н.А.
PY  2026
IS  19
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова