%0 Journal Article
%T Обзор методов измерения механической прочности тонких плёнок
%A Беспалов, В.А.
%A Товарнов, Д.А.
%A Дюжев, Н.А.
%A Махиборода, М.А.
%A Гусев, Е.Э.
%A Зольников, К.В.
%K механические свойства, прочность, предел текучести, механические напряжения, модуль Юнга, размер зерна, усталость материала, тонкие плёнки, дефекты, деформация, МЭМС
%J Моделирование систем и процессов
%D 2022
%N 15
%P 18
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова