TY JOUR TI Внутренние элементы защиты интегральных схем от воздействия электростатических разрядов KW электростатический разряд (ЭСР) KW интегральная схема (ИС) KW МОП-транзистор KW подложка KW эпитаксиальный слой JO Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика AU Быковский, С.И. AU Алексеев, В.Ф. AU Пискун, Г.А. AU Шинтар, А.В. PY 2015 IS 3 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова