01016naa#a2200193#i#4500001001600000005001700016011001400033100004100047102000700088200019600095210016900291215001000460608004500470675010900515700006400624700005800688700006200746856001400808RU\\bibl\10505820260511205511.1##a2219-0767##a20251016b2025####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aМультифизическое моделирование микроэлектронных систем с гетерогенной интеграциейeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2025##a7 с.##aЖурнальная статья2local##aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9#1aАчкасовgАлександр Владимирович#1aЯгодкинgАлександр Сергеевич#1aМакаренкоgФилипп Владимирович4#azh-szf.ru