LDR 01026naa#a2200193#i#450#
001     RU\\bibl\120333
005     20260704030247.6
011 ## _a2219-0767
100 ## _a20260424b2026####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aПроектирование радиационно-стойких многослойных крышек МЭМС с учётом термомеханических ограничений
       _eЖурнальная статья
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2026
215 ## _a16 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aОбщее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом. 621
       _z
700 #1 _aИванин
       _gПавел Сергеевич
700 #1 _aГусев
       _gЕ. Э.
700 #1 _aДюжев
       _gН. А.
856 4# _azh-szf.ru
       _u