01026naa#a2200193#i#4500001001600000005001700016011001400033100004100047102000700088200022700095210016900322215001100491608004500502675017500547700004800722700002400770700002400794856001400818RU\\bibl\12033320260718115531.6##a2219-0767##a20260424b2026####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aПроектирование радиационно-стойких многослойных крышек МЭМС с учётом термомеханических ограниченийeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2026##a16 с.##aЖурнальная статья2local##aОбщее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом. 621#1aИванинgПавел Сергеевич#1aГусевgЕ. Э.#1aДюжевgН. А.4#azh-szf.ru