01026naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\120333 20260702214456.4 2219-0767 20260424b2026####ek#y0rusy0150####ca RU Проектирование радиационно-стойких многослойных крышек МЭМС с учётом термомеханических ограничений Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2026 16 с. Журнальная статья local Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом. 621 Иванин Павел Сергеевич Гусев Е. Э. Дюжев Н. А. zh-szf.ru