LDR 00923naa#a2200169#i#450# 001 RU\\bibl\126241 005 20260713035655.1 011 ## _a2658-3488 100 ## _a20260630b2026####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aФУНКЦИОНАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ _eЖурнальная статья 210 1# _aБрянск _cБрянский государственный технический университет _d2026 215 ## _a5 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aСистемы автоматического управления (САУ). Кибернетические характеристики систем. Системы по принципу действия. 681.51 _z 700 #1 _aДанцев _gОлег Олегович 856 4# _azh-szf.ru _u