00923naa#a2200169#i#4500001001600000005001700016011001400033100004100047102000700088200021000095210011800305215001000423608004500433675021700478700004400695856001400739RU\\bibl\12624120260712185813.7##a2658-3488##a20260630b2026####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aФУНКЦИОНАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ  ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИeЖурнальная статья1#aБрянскcБрянский государственный технический университетd2026##a5 с.##aЖурнальная статья2local##aСистемы автоматического управления (САУ). Кибернетические характеристики систем. Системы по принципу действия. 681.51#1aДанцевgОлег Олегович4#azh-szf.ru