00923naa#a2200169#i#450# RU\\bibl\126241 20260716062539.4 2658-3488 20260630b2026####ek#y0rusy0150####ca RU ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ Журнальная статья Брянск Брянский государственный технический университет 2026 5 с. Журнальная статья local Системы автоматического управления (САУ). Кибернетические характеристики систем. Системы по принципу действия. 681.51 Данцев Олег Олегович zh-szf.ru