01096naa#a2200217#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200026900094210016400363215001000527608004500537675014000582700002600722700002800748700002600776700002600802700003600828856001400864RU\\bibl\2975420241124043554.7##a2071-7318##a20160225b2016####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ  ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ  С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКАeЖурнальная статья1#aБелгородcБелгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шуховаd2016##a4 с.##aЖурнальная статья2local##aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66#1aМамаевgВ.В. #1aНовиковgС.А. #1aПетровgС.И. #1aЗайцевgС.В. #1aПрохоренковgД. С.4#azh-szf.ru