01096naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\29754 20241124043604.7 2071-7318 20160225b2016####ek#y0rusy0150####ca RU ПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКА Журнальная статья Белгород Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова 2016 4 с. Журнальная статья local Химическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66 Мамаев В.В. Новиков С.А. Петров С.И. Зайцев С.В. Прохоренков Д. С. zh-szf.ru