LDR 01060naa#a2200217#i#450#
001     RU\\bibl\29946
005     20241226220321.4
011 ## _a2071-7318
100 ## _a20160125b2016####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ
       _eЖурнальная статья
210 1# _aБелгород
       _cБелгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова
       _d2016
215 ## _a5 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66
       _z
700 #1 _aНарцев
       _gВ.М. 
700 #1 _aЗайцев
       _gС.В. 
700 #1 _aПрохоренков
       _gД. С.
700 #1 _aЕвтушенко
       _gЕ. И.
700 #1 _aВащилин
       _gВ.С. 
856 4# _azh-szf.ru
       _u