LDR 01167naa#a2200217#i#450#
001     RU\\bibl\41062
005     20241226192334.4
011 ## _a2219-0767
100 ## _a20201207b2020####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aОсобенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНС
       _eЖурнальная статья
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2020
215 ## _a5 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aПрикладные науки. Общие вопросы. 60
       _z
700 #1 _aЗольников
       _gВладимир Константинович
700 #1 _aЕвдокимова
       _gСветлана Анатольевна
700 #1 _aЖуравлева
       _gИрина Витальевна
700 #1 _aМаклакова
       _gЕлена Альбертовна
700 #1 _aИлунина
       _gАнна Александровна
856 4# _azh-szf.ru
       _u