01167naa#a2200217#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200024400094210016900338215001000507608004500517675006700562700007000629700006600699700005600765700005800821700005600879856001400935RU\\bibl\4106220241226185528.4##a2219-0767##a20201207b2020####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОсобенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНСeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2020##a5 с.##aЖурнальная статья2local##aПрикладные науки. Общие вопросы. 60#1aЗольниковgВладимир Константинович#1aЕвдокимоваgСветлана Анатольевна#1aЖуравлеваgИрина Витальевна#1aМаклаковаgЕлена Альбертовна#1aИлунинаgАнна Александровна4#azh-szf.ru