01339naa#a2200241#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200020200094210016900296215001100465608004500476675014600521700006400667700005800731700005800789700005800847700007000905700005800975700005001033856001401083RU\\bibl\5548720250113050459.1##a2219-0767##a20221213b2022####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОсобенности проектирования микросхем, выполненных по глубоко-субмикронным технологиямeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2022##a10 с.##aЖурнальная статья2local##aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9aЭлектротехника. 621.3#1aАчкасовgАлександр Владимирович#1aСолодиловgМаксим Витальевич#1aЛитвиновgНиколай Николаевич#1aЧубуновgПавел Александрович#1aЗольниковgВладимир Константинович#1aШеховцовgДмитрий Витальевич#1aБордюжаgОлег Леонидович4#azh-szf.ru