The following types of damage to semiconductor devices and their elements caused by static electricity
semiconductor device, electrostatic discharge.
Электронная аппаратура постоянно подвергается воздействию дестабилизирующих факторов. Любое влияние на изделие может приводить к изменениям в работе устройства: от отклонений эксплуатационных параметров до отказов, поломок и разрушения входящих в ее состав элементов. Изучение воздействия такого фактора как электростатический разряд (ЭСР) позволит обеспечивать защитные меры еще на этапе проектирования изделий полупроводниковой промышленности. Важным аспектом исследования является классификация и систематизация возможных воздействий электростатического разряда.
При детальном рассмотрении повреждений полупроводниковых приборов (ППП), вызванных ЭСР, следует различать:
– дефекты, характерные для воздействия разрядного импульса на бездефектные и удовлетворяющие требованиям документации изделия;
– повреждения, образование которых возможно только в случаях наличия технологических дефектов структуры и конструкции ППП;
– повреждения структуры и конструктивных элементов, имеющие определенное сходство с повреждениями, образующимися при воздействии статического электричества, но вызванные другими признаками (например, аварийными бросками напряжения в питающих цепях устройства) [1].
1. Kaverznev, V.A. Staticheskoe elektrichestvo v poluprovodnikovoy promyshlennosti / V.A. Kaverznev. M. : Energiya, 1975. 114 s.
2. Kechiev, L.N. Zashchita elektronnykh sredstv ot vozdeystviya staticheskogo elektrichestva / L.N. Kechiev, E.D. Pozhidaev. M. : «Tekhnologii», 2005. 352 s.
3. Gorlov, M. Vozdeystvie elektrostaticheskikh razryadov na integral´nye skhemy / M. Gorlov, A. Strogonov, K. Adamyan. Komponenty i tekhnologii. 2008. № 3. S. 188-192.
4. Bogatko, I.N. Sistematizatsiya mekhanizmov povrezhdeniy poluprovodnikovykh priborov, vyzvannykh vozdeystviem elektrostaticheskikh razryadov / I.N. Bogatko, G.A. Piskun, A.D. El´kind. 51-ya nauchnaya konferentsiya aspirantov, magistrantov i studentov po napravleniyu 1: Komp´yuternoe proektirovanie i tekhnologiya proizvodstva elektronnykh sredstv: materialy konf., Minsk, Resp. Belarus´, 13-17 aprelya 2015 g. / BGUIR. Minsk, 2015. S. 157-158.
