Представлены виды повреждений полупроводниковых приборов и их элементов, вызванные разрядами статического электричества
полупроводниковый прибор, электростатический разряд.
Электронная аппаратура постоянно подвергается воздействию дестабилизирующих факторов. Любое влияние на изделие может приводить к изменениям в работе устройства: от отклонений эксплуатационных параметров до отказов, поломок и разрушения входящих в ее состав элементов. Изучение воздействия такого фактора как электростатический разряд (ЭСР) позволит обеспечивать защитные меры еще на этапе проектирования изделий полупроводниковой промышленности. Важным аспектом исследования является классификация и систематизация возможных воздействий электростатического разряда.
При детальном рассмотрении повреждений полупроводниковых приборов (ППП), вызванных ЭСР, следует различать:
– дефекты, характерные для воздействия разрядного импульса на бездефектные и удовлетворяющие требованиям документации изделия;
– повреждения, образование которых возможно только в случаях наличия технологических дефектов структуры и конструкции ППП;
– повреждения структуры и конструктивных элементов, имеющие определенное сходство с повреждениями, образующимися при воздействии статического электричества, но вызванные другими признаками (например, аварийными бросками напряжения в питающих цепях устройства) [1].
1. Каверзнев, В.А. Статическое электричество в полупроводниковой промышленности / В.А. Каверзнев. М. : Энергия, 1975. 114 с.
2. Кечиев, Л.Н. Защита электронных средств от воздействия статического электричества / Л.Н. Кечиев, Е.Д. Пожидаев. М. : «Технологии», 2005. 352 с.
3. Горлов, М. Воздействие электростатических разрядов на интегральные схемы / М. Горлов, А. Строгонов, К. Адамян // Компоненты и технологии. 2008. № 3. С. 188-192.
4. Богатко, И.Н. Систематизация механизмов повреждений полупроводниковых приборов, вызванных воздействием электростатических разрядов / И.Н. Богатко, Г.А. Пискун, А.Д. Элькинд // 51-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов по направлению 1: Компьютерное проектирование и технология производства электронных средств: материалы конф., Минск, Респ. Беларусь, 13-17 апреля 2015 г. / БГУИР. Минск, 2015. С. 157-158.
